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AFM针尖诱导氧化加工的金属(Ti、Al、Nb等)纳米氧化线是实现金属-半导体纳米器件的基础,由大气湿度决定的金属膜表面水吸附层的厚度,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用.实验研究了大气湿度对Ti氧化线高度、宽度和纵横比的影响,结果表明进行氧化加工Ti膜的较好的湿度范围为30%～50%.
相对湿度对AFM针尖阳极氧化金属薄膜的影响
【摘 要】
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AFM针尖诱导氧化加工的金属(Ti、Al、Nb等)纳米氧化线是实现金属-半导体纳米器件的基础,由大气湿度决定的金属膜表面水吸附层的厚度,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用
【机 构】
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天津大学精密测试计量技术及仪器国家重点实验室,天津大学电子信息工程学院
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年7期
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