高质量介质膜的淀积

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打开一块当今集成电路的封帽,一层层剥去,就会在几个不同膜层发现CVD淀积的介质材料。首先,在钝化层,有保护芯片不受潮湿、不受灰尘影响、不被划伤的氮化硅或氮氧化合物薄膜。 再往下一点的芯片中,金属互连线之间,是二氧化硅和/或硼磷硅玻璃(BPSG)层。它们把金属线彼此隔离开来,并且平整化以便形成较好的台阶覆盖。BPSG和二氧 Open a cap of today's integrated circuits, stripped layer by layer, will be found in several different layers of CVD deposition of dielectric materials. First, in the passivation layer, there is a silicon nitride or oxynitride film that protects the chip from moisture, dirt and scratches. Further down the chip, between the metal interconnects is a layer of silicon dioxide and / or borophosphosilicate glass (BPSG). They separate the wires from each other and are flattened to provide better step coverage. BPSG and dioxygen
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