用于精密微装配的全方位微小机器人的研究

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研制出了一种90mm×60mm×85mm的可用于精密微装配作业的全方位微小型机器人,该机器人集成了移动定位单元与精密微操作单元,移动定位单元由微型电机驱动的快速宏运动单元与压电陶瓷驱动的精密微运动单元2部分组成,宏运动最大速度为50mm/s,开环定位精度为1mm;微运动最大速度为200μm/s,开环定位精度为1μm,分辨率为50nm.微操作单元由压电陶瓷驱动的球基微驱动器与微夹持器2部分组成,微驱动器转动分辨率为0.0001°,定位精度为0.0005°,微驱动器金属
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