基于平面环形微腔结构的超高灵敏度位移传感器的研究

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以平面环形微腔结构为核心器件,基于量子力学的隧道效应和“参量振荡不稳定”效应,结合理论计算及ANSYS和Beamprop仿真,设计出基于环形微腔结构的超高灵敏度位移传感器,特别是在1.55μm的谐振波下,对所设计的位移传感器进行了ANSYS力学仿真、Beamprop传输特性仿真以及输出特性数值模拟,论证了位移传感器的可行性,并为以后的实验奠定了基础。
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