类金刚石(DLC)膜的制备技术概况

• 作 者: 程宇航 吴一平 陈建国 乔学亮
• 机 构: 华中理工大学材料系,华中理工大学材料系,华中理工大学材料系,华中理工大学材料系 武汉 430074,武汉 430074,武汉 430074,武汉 430074
• 出 处: 材料导报
• 发表日期: 1996年02期
• 关键词: 类金刚石 DLC 技术概况 沉积技术 离子束沉积 沉积法 溅射法 沉积速率 化学气相沉积 电弧法

综述了类金刚石膜的制备方法,以及各种制备方法的基本原理和特点,并分析了各种方法对膜的结构和性能的影响。

The preparation methods of diamond-like carbon films and the basic principles and characteristics of various preparation methods were reviewed. The influences of various methods on the structure and properties of films were also analyzed.