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两种材料以纳米量级交替沉积形成的纳米多层薄膜因具有超硬效应而得到广泛的关注和研究.两调制层在小周期时形成共格界面的外延生长结构是纳米多层膜产生硬度异常升高的重要微结构特征.
TiN／TiB2纳米多层膜的共格外延生长
【摘 要】
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两种材料以纳米量级交替沉积形成的纳米多层薄膜因具有超硬效应而得到广泛的关注和研究.两调制层在小周期时形成共格界面的外延生长结构是纳米多层膜产生硬度异常升高的重要
【机 构】
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教育部高温材料及高温测试重点实验室,金属基复合材料国家重点实验室
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2005年4期
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