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提出了基于两点法的精密移动台滚转角测量新方法 ,可以将移动台滚转角误差与参考镜角形状误差分离开来。实验结果表明 ,滚转角误差的测量重复性精度可达 0 .0 5",这个值是由测量系统稳定性决定的。
滚转角误差的光学精密测量技术研究
【摘 要】
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提出了基于两点法的精密移动台滚转角测量新方法 ,可以将移动台滚转角误差与参考镜角形状误差分离开来。实验结果表明 ,滚转角误差的测量重复性精度可达 0 .0 5",这个值是由测量系统稳定性决定的。
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2000年10期
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