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研究了AZ－1350胶的正、负转型和形成适用于剥离技术的倒台面图形的工艺技术，并对一些机理性问题进行了讨论。更多还原
适用于剥离工艺的光刻胶图形的制作技术及其机理讨论
【摘 要】
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研究了AZ－1350胶的正、负转型和形成适用于剥离技术的倒台面图形的工艺技术，并对一些机理性问题进行了讨论。更多还原
【机 构】
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中科院微电子中心
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1994年3期
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