【摘 要】
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报导了作者研制的GaAs MSM—PD的直流及脉冲光电特性,对不同材料、不同结构尺寸的器件进行了试验和分析,测试结果:最大暗电流1.9nA,最高灵敏度为0.25A/W,FWHM小于110 ps(10V
【机 构】
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上海交通大学微电子技术研究所,上海交通大学微电子技术研究所,上海交通大学微电子技术研究所 200030,200030,200030
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报导了作者研制的GaAs MSM—PD的直流及脉冲光电特性,对不同材料、不同结构尺寸的器件进行了试验和分析,测试结果:最大暗电流1.9nA,最高灵敏度为0.25A/W,FWHM小于110 ps(10V下),有较好的光电流和光功率线性关系,通过实验研究,发现对插指结构的器件在同一面积下受光面积与单位面积上的光电流存在最优化选择。
The DC and pulsed photoelectric properties of GaAs MSM-PD fabricated by the author are reported. The devices with different materials and different sizes are tested and analyzed. The results show that the maximum dark current is 1.9nA, the highest sensitivity is 0.25A / W and the FWHM is less than 110 ps (10V), there is a good linear relationship between photocurrent and optical power. Through experimental research, it is found that there is an optimal choice for the photodetector area and the photocurrent per unit area for devices with interdigital structures in the same area.
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