高折射率光学薄膜的化学法制备研究

• 作 者: 沈军 张勤远
• 机 构: 同济大学玻耳固体物理研究所,同济大学玻耳固体物理研究所
• 出 处: 强激光与粒子束
• 发表日期: 1999年5期
• 关键词: 水热法 溶胶 高折射率 薄膜 制备 hydrothermal synthesis soi high refractive index film
• 基金项目: 国家自然科学基金,国家863惯性约束聚变领域及青年科学基金

报道了一种以ＡｒＯＣｌ２．８Ｈ２Ｏ为源，溶胶－凝胶法制备高激光负载高折射率薄膜的新方法。薄膜采用旋转镀膜法制备，对薄膜的结构，光学特性及激光损伤阈值进行了测量，有机粘接剂对薄膜折射率及机械强度的影响也作了探讨。以该薄膜与ＳｉＯ２溶胶－凝胶膜交替涂覆制成的多层高反膜，剩余透过率仅０．９８％，激光损伤阈值达１６Ｊ／ｃｍ＾２（３ｎｓ）