真空蒸发钛薄膜的电阻温度系数

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在“弹性流体动压润滑接触”的研究中,需要测量两个滚动着的工件之间极小充油间隙里的温度,例如齿轮啮合的接触区域即属于这一情况。现有的传感器,由于体积过大及安装上的困难都无法使用。J·Ehlert等人提出了真空蒸发式传感器。把很薄的传感器(小于1微米)直接蒸发在待研究的滚动接触表面的测量位置上,就有可能在不影响润滑油流动及不改变工件表面的条件下,在润滑间隙中测量温度。由于钛薄膜在不高的温度范围内具有线性的电阻-温度特性及足够的温度灵敏度,同时还能经受动压润滑接触 In the study of “Elastohydrodynamic Lubrication Contact”, it is necessary to measure the temperature in the very small oil-filled gap between two rolling workpieces, for example the contact area where the gears mesh. Existing sensors can not be used due to over-size and installation difficulties. J. Ehlert et al. Proposed a vacuum evaporative sensor. By evaporating the very thin sensor (less than 1 micron) directly at the measurement point of the rolling contact surface to be studied, it is possible to measure the temperature in the lubrication gap without affecting the flow of lubricant and without changing the surface of the workpiece. As the titanium film in a low temperature range with linear resistance - temperature characteristics and sufficient temperature sensitivity, but also can withstand dynamic pressure lubrication contact
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