【摘 要】
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3月20号在SEMICON CHINA2013期间,由由上海市集成电路行业协会、北京电子制造装备行业协会主办,《电子工业专用设备》杂志社协办的“2013本土集成电路设备、材料产业研讨会暨
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3月20号在SEMICON CHINA2013期间,由由上海市集成电路行业协会、北京电子制造装备行业协会主办,《电子工业专用设备》杂志社协办的“2013本土集成电路设备、材料产业研讨会暨产品发布会”在上海卓美亚喜马拉雅大酒店隆重举行。大会上来自中微半导体设备(上海)有限公司、
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