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【出 处】
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上海艺术家
【发表日期】
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2008年3期
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MEMS是Micro Electro Mechanical Systems的英文缩写,它是微型执行器、微型机械、控制电路、通信、接口、电源以及信号处理融为一体的且可以批量生产的系统或微型器件,在近年