【摘 要】
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采用激光化学气相沉积法在（100）取向Al2O3衬底上制备了第二代高温超导YBa2Cu3O（7-δ）（YBCO）薄膜,研究了前驱体Y（DPM）3、Ba（DPM）2、Cu（DPM）2的蒸发温度对YBCO薄膜成分的影响规律。通过X射
【基金项目】
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国家自然科学基金（51302199）, 湖北省自然科学基金杰出青年科学基金（2014CFA044）, 武汉市青年科技晨光计划（2014072704011253）
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采用激光化学气相沉积法在（100）取向Al2O3衬底上制备了第二代高温超导YBa2Cu3O（7-δ）（YBCO）薄膜,研究了前驱体Y（DPM）3、Ba（DPM）2、Cu（DPM）2的蒸发温度对YBCO薄膜成分的影响规律。通过X射线衍射、扫描电子显微镜、背散射电子显微镜对薄膜进行了表征。结果表明：制备的YBCO薄膜样品成分中含有以下化合物：YBCO、CuYO2、Cu2O、Cu4O3、Y2O3、CuO、CuBaO2、BaY2O4、Ba2Cu3Ox。在激光功率为130 W,沉积温度为1 123 K,腔体压强为1
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