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真空蒸镀技术制备类金刚石碳薄膜材料,其实验条件对所制备的碳膜结构有着重要的影响。本文着重研究了靶基距在制备过程中的最佳实验条件,并用拉曼光谱,X射线光电子能谱（XPS）对所制备的类金刚石碳膜进行了结构分析,利用原子力显微镜（AFM）对薄膜进行了表面形貌分析。
真空蒸镀技术制备类金刚石碳膜材料及其表征
【摘 要】
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真空蒸镀技术制备类金刚石碳薄膜材料,其实验条件对所制备的碳膜结构有着重要的影响。本文着重研究了靶基距在制备过程中的最佳实验条件,并用拉曼光谱,X射线光电子能谱（XPS）对
【机 构】
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黑龙江农业职业技术学院
【出 处】
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科技视界
【发表日期】
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2015年4期
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