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摘 要:CVD 腔室需维持一定的温度来保证工艺环境稳定及防止工艺气体冷凝。流体加热因相对电加热而言有更好的柔性,而被较多的采用。本文结合CVD腔室的流体换热计算过程,描述流体换热的影响因素,可用于换热系统的设计选型及参数调节。并可推广至其他类似的流体换热设备。  关键词:压力;流量;换热;流体;计算  CVD 腔室需维持一定的温度来保证工艺环境稳定及防止工艺气体冷凝。流体加热相对电加热而言有更好的
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