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介绍随着电子科技的不断进步,对球形硅微粉需求及产品质量要求越来越高。本研究采用等离子体技术,制备二氧化硅球形粉。本文主要介绍制备的原理、工艺过程以及产品性能。
高频等离子法制备球形硅微粉的工艺研究
【摘 要】
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介绍随着电子科技的不断进步,对球形硅微粉需求及产品质量要求越来越高。本研究采用等离子体技术,制备二氧化硅球形粉。本文主要介绍制备的原理、工艺过程以及产品性能。
【机 构】
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贵州省正业工程技术投资有限公司
【出 处】
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科技资讯
【发表日期】
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2010年29期
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