【摘 要】
：
国内对高熵合金的研究主要集中于其优异的力学性能,还未见有关高熵合金扩散阻挡性能的报道。采用直流磁控反应溅射方法在不同N2流量占比气氛中制备了AlCrTaTiZrMoNx薄膜与Cu/
【机 构】
：
上海理工大学材料科学与工程学院; 上海电机学院材料学院;
【基金项目】
：
国家自然科学基金(51671125);上海市自然科学基金(16ZR1412800)资助
论文部分内容阅读
国内对高熵合金的研究主要集中于其优异的力学性能,还未见有关高熵合金扩散阻挡性能的报道。采用直流磁控反应溅射方法在不同N2流量占比气氛中制备了AlCrTaTiZrMoNx薄膜与Cu/AlCrTaTiZrMoNx/Si复合试样,并对样品真空退火1h。用X射线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）、四探针电阻测试仪（FPP）、场发射扫描电镜（SEM）对退火前后样品的物相结构、表面粗糙度、形貌以及方块电阻进行了分析表征,研究了薄膜的热稳定性和扩散阻挡性能。结果表明:随着N2流量占比的增加,高熵合金氮化物薄膜表面粗糙度增加,方块电阻也单调增加;N2流量变化会改变薄膜结构,未通入N2时,薄膜为非晶结构,当通入N2后,N原子会与金属原子形成氮化物,使结晶性能得到提高,薄膜结构为面心立方,N2流量占比为20%时,薄膜结晶较好,晶粒细小;当N2流量占比为0时,复合试样在700℃退火时失效;N2流量占比为10%时,复合试样在800℃退火时失效;N2气流量占比为20%和30%时,复合试样在800℃退火后,其X射线衍射峰没有明显的变化,复合试样表面较为平整,此温度为极限温度;在900℃退火后,复合试样界面发生了相互扩散,生成了高阻态铜硅化合物,表面粗糙度显著升高,表明扩散阻挡层已经彻底失效;可见,随着N2流量占比的增加,高熵合金涂层的扩散阻挡性能和热稳定性得到提高,但当N2流量占比大于20%时,其阻挡性能和热稳定性提高不明显。
其他文献
电视剧《蜗居》的热播引发全社会对青年一代"房奴"现象与"蚁族"身份的讨论与审视:传统的置业观念、住房符号化的身份象征与广告效应使"蚁族"进阶为"房奴",并带来新的困惑和焦
<正>0引言苹果蠹蛾是新疆果树主要虫害之一,每年都造成不同程度的损失,主要危害杏树、梨树等果树。苹果蠹蛾可通过运输远距离传播,世界上许多国家都将其列为重要检疫对象。
乙醇溴化法溴乙烷的简易制备王妙新周立军（江苏省盐业公司黄海化工厂连云港市２２２０６９）关键词溴乙烷乙醇溴化法制备１前言溴乙烷是一种挥发性很强的无色易燃透明液体，有毒，主要作为中间体用
<正>实施轮胎召回1次据国家质检总局统计,2013年,我国已实施汽车召回133次,涉及车辆531.1万辆,召回数量同比增长65.8%,创历史新高。此外,还实施轮胎召回1次,涉及轮胎47.18万
背景:前交叉韧带重建移植物的选择以及重建后移植物的组织学转归一直是前交叉韧带修复与重建领域的一个重要的研究课题。目的:就前交叉韧带的结构,移植物的选择问题进行综述
<正>随着农业产业结构的调整,新疆农作物病虫害发生种类日趋增多,一些次要害虫上升为主要害虫。为提升农产品质量安全水平,根据优势作物,以小麦、玉米、水稻、甜菜、油葵、棉
目的:制备载人富血小板血浆(hPRP)生长因子壳聚糖微球,观察其体外缓释效果。方法:选用离子凝胶法制备壳聚糖微球,利用微球吸附hPRP生长因子;以微球对hPRP中主要生长因子TGF-
外资金融机构引入结构不合理、外资金融机构在国内经营中“低”国民待遇与“超”国民待遇“双重扭曲”以及国家对外资金融机构的监管体系不健全和监管方式落后，是目前我国金融
《新房客》是荒诞派剧作家欧仁·尤奈斯库1953年创作的独幕剧。剧中的道具——家具由渐趋进入发展到铺天盖地,最终埋葬了其使用者。本剧展现了现代人面临的两种生存困境:一方
追问已在全国普遍推进的省管县体制改革现状如何,首先需要分析省管县体制改革的实践形态。总体来看,当前我国各地省管县体制改革形成了财政体制主导型、经济管理权下放型和行