【摘 要】
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现代科学技术的发展,特别是微细加工技术和微机电系统的飞速发展为微型机器人的出现奠定了技术基础。微型机器人并非现有机器人在尺寸上的简单微型化,而是指以微机电系统技
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现代科学技术的发展,特别是微细加工技术和微机电系统的飞速发展为微型机器人的出现奠定了技术基础。微型机器人并非现有机器人在尺寸上的简单微型化,而是指以微机电系统技术(MEMS)为依托,具有微小尺寸结构,可进行微细操作的机器人。微型机器人的最基本的部件是微型机电系统,它是将微型传感器、微型驱动器、微型开关、微型电机、微型电子器件有机地组合在一起,用特殊材料封装而成的。
The development of modern science and technology, especially the micro-processing technology and the rapid development of micro-electromechanical systems for the emergence of micro-robots laid the technical foundation. The miniature robot is not a simple miniaturization of an existing robot but refers to a robot that has a micro-size structure and can be operated finely based on a micro-electromechanical system (MEMS) technology. The most basic part of the micro-robot is a micro-electromechanical system, which is a combination of micro-sensors, micro-drives, micro-switches, micro-motors, micro-electronic devices organically together, packaged with special materials.
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