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硝酸氧化法制备液晶显示器薄膜晶体管(TFT)
硝酸氧化法制备液晶显示器薄膜晶体管(TFT)
来源 :金属功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiushuigediao
【摘 要】
:
日本大阪大学小林光教授等人开发成功一项制备TFT的新技术一一硝酸氧化法。该技术的关键在于把硅浸于浓度高于68%的硝酸水溶液中,在低于120℃温度下硝酸分解而产生具有强氧化力
【出 处】
:
金属功能材料
【发表日期】
:
2011年3期
【关键词】
:
硝酸氧化法
薄膜晶体管
液晶显示器
制备
日本大阪大学
新技术
TFT
水溶液
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日本大阪大学小林光教授等人开发成功一项制备TFT的新技术一一硝酸氧化法。该技术的关键在于把硅浸于浓度高于68%的硝酸水溶液中,在低于120℃温度下硝酸分解而产生具有强氧化力的离解氧离子与硅起反应,
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