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TK—65型特种油扩散泵
TK—65型特种油扩散泵
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiuyeshusheng
【摘 要】
:
本文简要介绍了TK—65型特种油扩散泵的研制背景、指标、结构和特点,着重报导了该泵的测试结果及其分析。
【作 者】
:
龚汩清
林曼印
【机 构】
:
电子部第四十八研究所,电子部第四十八研究所长沙410111,长沙410111,长沙410111
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1993年1期
【关键词】
:
彩象显象管
排气
油扩散泵
diffusion pump
structrue
pumping speed
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本文简要介绍了TK—65型特种油扩散泵的研制背景、指标、结构和特点,着重报导了该泵的测试结果及其分析。
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