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提出一种测量半导体深能级的新方法——双光束瞬态光伏谱.与目前测量深能级通常采用的方法DLTS相比,具有两个突出的优点,对被测样品无破坏性和可直接测量单晶的深能级.测量了掺金硅单晶和电子辐照硅单晶的深能级,结果与公认值完全符合.
双光束瞬态光伏谱测量半导体深能级
【摘 要】
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提出一种测量半导体深能级的新方法——双光束瞬态光伏谱.与目前测量深能级通常采用的方法DLTS相比,具有两个突出的优点,对被测样品无破坏性和可直接测量单晶的深能级.测量了
【机 构】
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集美航海学院物理室,厦门大学物理学系,厦门大学物理学系厦门361021,厦门361005,厦门361005
【出 处】
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厦门大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1993年S2期
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