【摘 要】
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研究了用磁控溅射制备ＶＯ２热致变色薄膜。在不同的Ｏ２／Ａｒ＋Ｏ２流量比下，沉积了一系列ＶＯｘ薄膜，给出了沉积速率以及高温／低温下电阻率变化的规律。得到了组分比较纯的ＶＯ２热致变色薄膜。研究了薄膜的光透
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研究了用磁控溅射制备ＶＯ２热致变色薄膜。在不同的Ｏ２／Ａｒ＋Ｏ２流量比下，沉积了一系列ＶＯｘ薄膜，给出了沉积速率以及高温／低温下电阻率变化的规律。得到了组分比较纯的ＶＯ２热致变色薄膜。研究了薄膜的光透射谱和相变过程中电学性质的变化。
VO2 thermochromic thin films were prepared by magnetron sputtering. At different O2 / Ar + O2 flow rates, a series of VOx films were deposited. The deposition rate and the change of resistivity at high / low temperature were given. The pure VO2 thermochromic film was obtained. The light transmission spectrum and the change of electrical properties during the phase transition were studied.
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