【摘 要】
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本文介绍在已知偏转磁铁几何参数时,就可用公式或曲线直接求出直线边界均匀磁场的偏转磁铁的等效边界,这对进行离子注入机磁铁设计是很重要的,它是既方便又准确的实用方法。
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本文介绍在已知偏转磁铁几何参数时,就可用公式或曲线直接求出直线边界均匀磁场的偏转磁铁的等效边界,这对进行离子注入机磁铁设计是很重要的,它是既方便又准确的实用方法。
This paper introduces the equivalent boundary of the deflection magnet of the uniform magnetic field of the linear boundary when the deflection parameter of the deflection magnet is known, which is very important for the design of the magnet of the ion implanter. It is convenient and accurate Practical method.
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