微电子器件多失效机理可靠性寿命外推模型

• 作 者: 李志国 李杰 郭春生 程尧海
• 机 构: 北京工业大学电子信息与控制工程学院
• 出 处: 电子产品可靠性与环境试验
• 发表日期: 2004年04期
• 关键词: 微电子器件 失效机理 快速评价

提出了一种新的微电子器件快速评价方法,具有快速、准确、成本低、能观察分析参数退化的全 :过 程 ,能 有效 地 分析 器件 的 失效 机理 。 它与 常 规 方 法 不同 , 可 对 单样 品 求 出 不同 失 效 阶 段的 失 效 激 活能 和 寿命 , 根据 其参 数 退化 的 温度 范围 可 外推 出单 样 品 工 作条 件 下 的 寿命 。 通 过 一定 数 量 的 对比 试 验 , 该方 法 与 常规 方 法有 可比 性 。