论文部分内容阅读
研究了在热丝化学气相生长金刚石的过程中，衬底温度、衬底表面附近的气体温度以及气流的质量流密度分布对金刚石膜的形核和生长的影响。模拟计算结果表明，这三个参量是空间位置的参数，在某些区域，这三个参量均匀分布。当热丝阵列面与衬底间距离超过７ｍｍ之后，这三个参量在衬底上有一个较大的均匀区域，在该区域的两侧，各参量值显著变化。在衬底中心的均匀区域，金刚石膜晶形清楚而致密；偏离该区域，这三个参量数值明显下降，形核密度和生长速度较低，三个参量均匀的区域可作为金刚石大面积均匀的形核和生长的位置。