结构紧凑、性能卓越的经济型准分子激光器

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Coherent(相干)公司生产的最新推出一款结构紧凑、性能卓越并具有超长使用寿命的经济型ExciStar XS准分子激光器.特别是空气冷却的ExciStar XS激光器,外形尺寸仅为649×300×400mm,却能在重复频率高达500Hz,波长为193nm时,输出脉冲能量高达10mJ,能量稳定性小于2%(hy).Almeta XS全金属结构,corona预电离,全固体脉冲发生器以及静电尘去除技术的使用,确保了激光腔的寿命高达500百万个脉冲数,腔镜的寿命高达100百万个脉冲数.
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