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ＥＣＶ与ＰＶＳ是目前国内外半导体多层异质材料测试中的一种先进技术。利用ＰＮ４３００半导体分布测绘仪和ＰＮ４３５０光压谱仪，测试了ＩｎＰ系列多种异质材料的Ｎ－Ｗ、Ｃ－Ｖ、ＰＶＳ、Ｉ－Ｖ特性。分析和讨论了德拜长度限制、阳极化染色，表层测试点散乱、ＰＶＳ显示次序与光响应层最小厚度限制，Ｃ－Ｖ曲线不连续等问题。