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研究了用ＰＣＶＤ法所制备的ＴｉＮ，ＴｉＡｌＮ和ＴｉＳｉＮ硬质支的抗高浊及ＴｉＮ涂层在双氧水介质中的抗氧化性能。结果表明，ＴｉＡｌＮ，ＴｉＳｉＮ涂层在空气中的抗高温氧化温度达７００℃以上，ＴｉＮ涂层可达６００℃，在双氧水介质中，ＰＶＣＤ－ＴｉＮ涂层仍具有较强的抗氧化能力，且优于ＰＶＤ－ＴｉＮｉＩ涂层。