【摘 要】
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主要研究静电激励/电容拾振硅微谐振梁的激振拾振问题,推导谐振梁的激振与响应的等效数学模型,分析谐振梁的同频干扰问题,建立其等效电路模型,提出一种基于双端激励/双端检测
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院电子学
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主要研究静电激励/电容拾振硅微谐振梁的激振拾振问题,推导谐振梁的激振与响应的等效数学模型,分析谐振梁的同频干扰问题,建立其等效电路模型,提出一种基于双端激励/双端检测的结构,能够有效的抑制干扰模态和消除同频信号干扰.
In this paper, we mainly study the excitation and vibration pick-up problem of the electrostatic resonance / capacitively-charged silicon microresonant beam, deduce the equivalent mathematical model of the resonance and response of the resonant beam, analyze the same-frequency interference problem of the resonant beam and establish its equivalent circuit model A structure based on double-ended excitation / double-ended detection can effectively suppress the interference mode and eliminate the same-frequency signal interference.
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