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,Methods for Thickness Determination of SiC Homoepilayers by Using Infrared Reflectance Spectroscopy
【机 构】
：
Key Laboratory of Wide Band-Gap Semiconductor Materials and Devices,School of Microelectronics,Xidia
【出 处】
：
中国物理快报（英文版）
【发表日期】
：
2010年6期
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