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采用新型高刚性Tetraform'C'磨床对高硬轴承钢M50进行超精密磨削可获得理想的表面粗糙度(Ra＜10nm).试验表明,采用粒度76 μ m磨粒的CBN(立方体氮化硼)砂轮,以500μm的砂轮切深就可稳定获得Ra＜10nm的表面粗糙度.这个结果相对于先前欲获得纳米表面粗糙度就必须损失加工效率的理论有了一个显著的飞跃.一般认为杯形砂轮磨削包括主磨削和光整磨削,形成了镜面,磨削的最终表面粗糙度决定于磨钝的CBN磨粒的修光作用,磨削结果表明,光整磨削区工件的脱碳对磨削表面粗糙度影响很大.采