Implementation of Autofocus in Alignment System for Layered Imprint Fabrication

来源 :Transactions of Tianjin University | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaohuang1234

【摘要】

：

Autofocus method based on the analysis of image content information is investigated to reduce the alignment error resulting from mark positioning uncertainty du

【作者】

：

王权岱段玉岗卢秉恒向家伟杨连发

【机构】

：

StateKeyLabforManufacturingSystemsEngineering,SchoolofMechanicalandElectricalEngineering

【出处】

：

Transactions of Tianjin University

【发表日期】

：

2009年4期

【关键词】

：

自动对焦功能制造过程对准系统版本镜头图像内容计算效率信息分析 autofocus algorithm alignment imprint li

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Autofocus method based on the analysis of image content information is investigated to reduce the alignment error resulting from mark positioning uncertainty due to defocus in microstructure layered fabrication process based on multilevel imprint lithogra

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