基于基片集成波导的湿度传感器设计

• 作 者: 刘勇 陈昌明 高睿
• 机 构: 成都信息工程大学通信工程学院
• 出 处: 传感器与微系统
• 发表日期: 2018年2期
• 关键词: 基片集成波导 湿度传感器 介电常数 谐振频率 substrate integrated waveguide（SIW） humidity sensor pe
• 基金项目: 四川省教育厅重点项目（13ZA0087）

采用了边界积分谐振模式展开（BI—RME）方法和Floquet定理相结合的方法,对基片集成波导（SIW）结构进行设计,并利用电磁带隙对敏感区进行构建,用空腔微扰法分析。根据湿度对介电常数的影响引起频率偏移的原理,对谐振器的谐振频率和信号幅度进行测量。实验结果表明：用SIW设计的谐振器的湿度范围为11%~97%RH,灵敏度为13.371~46.51 k Hz/RH,设计的新的微波器件具有较好的研究意义和测量效果。