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对采用射频磁控溅射法制备的Y2O3红外光学薄膜的热应力进行了分析，随着沉积温度的升高，薄膜内热应力变大；并通过计算机对热应力分布进行了模拟，剪切力随沉积温度升高而变大，且在薄膜边缘处具有极大值。
Y2O3薄膜热应力分布的有限元模拟
【摘 要】
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对采用射频磁控溅射法制备的Y2O3红外光学薄膜的热应力进行了分析，随着沉积温度的升高，薄膜内热应力变大；并通过计算机对热应力分布进行了模拟，剪切力随沉积温度升高而变大，且在薄
【机 构】
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西北工业大学材料学院
【出 处】
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中山大学研究生学刊：自然科学与医学版
【发表日期】
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2009年1期
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