【摘 要】
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各种超高频电子整机需要高性能的表声波压电器件。介绍了新的压电薄膜——ZnO/AIN复合压电薄膜的制速、结构和性能,并给出主要研制结果。
A variety of high-frequency elec
【机 构】
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电子科技大学信息材料学院,电子科技大学信息材料学院,电子科技大学信息材料学院 成都 610054,成都 610054,成都 610054
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各种超高频电子整机需要高性能的表声波压电器件。介绍了新的压电薄膜——ZnO/AIN复合压电薄膜的制速、结构和性能,并给出主要研制结果。
A variety of high-frequency electronic machine needs high performance acoustic wave piezoelectric devices. The new piezoelectric thin film - ZnO / AIN composite piezoelectric thin film speed, structure and performance, and gives the main research results.
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