【摘 要】
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建立了一个等离子体射频激励器,工作气体为氢气,工作气压为0.3Pa,激励器陶瓷桶直径300mm,工作频率1MHz。实现了RF等离子体激发放电,在输入射频功率16k W条件下,采用朗缪尔探
【机 构】
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华中科技大学强电磁工程与新技术国家重点实验室,
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建立了一个等离子体射频激励器,工作气体为氢气,工作气压为0.3Pa,激励器陶瓷桶直径300mm,工作频率1MHz。实现了RF等离子体激发放电,在输入射频功率16k W条件下,采用朗缪尔探针测得的等离子体密度>10~(18)m~(-3),初步建立了一个RF等离子体源实验平台。
Established a plasma RF exciter, the working gas is hydrogen, the working pressure is 0.3Pa, the actuator ceramic bucket diameter 300mm, operating frequency 1MHz. The RF plasma excited discharge was achieved. Under the condition of 16kW input RF power, plasma density> 10 ~ (18) m ~ (-3) measured by Langmuir probe, an RF plasma source experiment platform.
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