【摘 要】
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本文阐述了多晶硅生产装置中硅粉输送装置的原理、输送方式的选择计算以及密相气力输送的工作方式、控制系统、故障判断方法。
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本文阐述了多晶硅生产装置中硅粉输送装置的原理、输送方式的选择计算以及密相气力输送的工作方式、控制系统、故障判断方法。
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