溅射装置

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一、前言 浏览一下从创刊号至今的全部“真空”、第8卷(1965)登载了溅射原理方面的解说论文,如果溅射离子泵不算在内的话,它是“真空”采用溅射方面的第一篇论文。其后,第10卷(1967)刊登了一篇高频溅射的解说论文,第12卷(1969)刊登了解说和研究各一文,第13卷(1970)又刊登了一篇 I. Preface To review all the “vacuums” since the first issue, Vol. 8 (1965) contains a dissertation on the principles of sputtering, which is “vacuum” if sputtering is not included in sputtering The first essay. Subsequently, Volume 10 (1967) published a high-frequency sputum dissertation, volume 12 (1969) published a commentary and study of each article, volume 13 (1970) and published an article
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