硅功率器件生产中控制少子寿命的电子辐照工艺

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硅功率器件包括功率整流管和晶闸管,它们在冶金、城建、交通、化工、国防等各个部门中都得到广泛应用,相应产品不仅技术先进,而且节能效果十分明显。因此器件本身有着广阔的市场,尤其是高压大电流晶闸管及高电压的中速、快速器件处于供不应求的状态。为适应这种形势,生产硅功率器件厂家及有关研究单位都在为促进产品质量的提高和稳定以及获得更高的劳动生产率而探索先进的工艺过程。 Silicon power devices include power rectifiers and thyristors, which are widely used in various sectors such as metallurgy, urban construction, transportation, chemical industry and national defense. The corresponding products are not only technologically advanced but also have obvious energy-saving effects. Therefore, the device itself has a vast market, especially the high-voltage high-current thyristor and high-voltage high-speed, fast devices in short supply state. In order to adapt to this situation, the manufacturers of silicon power devices and relevant research institutes are exploring advanced processes to enhance and stabilize product quality and achieve higher labor productivity.
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