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本文简单回顾了历史上光谱测量仪器的各种种类以及市场对光谱仪器性能要求的发展变化。详细指出了作为工业在线过程分析仪器和手持式的便携分析仪器两个应用方向对光谱仪性能的要求。另外，针对近年来光谱仪提高性能并微小型化的趋势，介绍了近年来AOTF和MEMS两种技术在光谱仪微小型化的趋势中的应用。本文最后对MEMS技术或其它技术（如：AOTF）在高性能光谱仪微小型化中的进一步作用寄予了厚望。