【摘 要】
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为了解决微电子加工行业产生的含铜废酸液的资源回收问题,笔者研究了含铜废酸液中铜的电沉积过程。同时,分析了不同电流密度与电压下电沉积铜的去除率、能耗和沉积层质量,讨
【机 构】
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华中科技大学环境科学与工程学院,湖北永绍科技股份有限公司
【基金项目】
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国家千人计划青年人才项目,湖北省自然科学基金重点项目(项目编号:2015CFA133),国家自然科学基金青年项目(项目编号:51704122)的阶段性研究成果之一
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为了解决微电子加工行业产生的含铜废酸液的资源回收问题,笔者研究了含铜废酸液中铜的电沉积过程。同时,分析了不同电流密度与电压下电沉积铜的去除率、能耗和沉积层质量,讨论了影响该种废液沉积的各种因素。结果表明,较小的电流密度下,铜的沉积效果最好,铜的去除率可达98%,为了提升铜的沉积效果,需要投加添加剂抑制硝酸根的还原反应,调整和监控溶液pH。
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