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以2006--2010年中国31个省域的数据为基础，运用超效率DEA模型对大中型工业企业研发效率进行测度，考察企业研发投入、企业规模、产权结构、企业绩效和外商直接投资对研发效率的影响作用。结果表明：研发效率有效的省域呈逐年增长的趋势，但发展不够均衡；研发效率的提高逐渐依赖于研发资本投入；企业规模、外商直接投资与大中型工业企业的研发效率呈正相关关系；企业所有权结构与研发效率逐渐呈现负相关的趋势，即非国有企业更有助于研发效率的提高；企业绩效与研发效率呈现负相关趋势。