【摘 要】
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本文叙述了离子注入PIN电流型探测器的制备,并对一些问题进行了讨论。探测器指标:在300伏反向偏压下漏电流一般小于10微安,好的可小于3微安;工作状态下线性输出电流大于2安;
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本文叙述了离子注入PIN电流型探测器的制备,并对一些问题进行了讨论。探测器指标:在300伏反向偏压下漏电流一般小于10微安,好的可小于3微安;工作状态下线性输出电流大于2安;φ20毫米的样品上升时间小于8毫微秒,φ8样品上升时间可达3毫微秒。在使用中得到了较好的结果。
This article describes the preparation of ion implanted PIN current probes and discusses some of the issues. Detector Specifications: Leakage current less than 10 micro amps at 300 volts reverse bias, better than 3 microamps; Linear output current greater than 2 amps at work; samples with φ20 mm rise time less than 8 ns, φ8 sample rise time up to 3 ns. Get better results in use.
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