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本文主要研究声表面波耦合模理论在声表面波谐振器中的应用。本文结合声表面波谐振器的特点，对谐振器表面沉积介质薄膜后引起器件结构参数的变化进行了分析，为研究基于ＳＡＷ谐振器的传感器提供了一种方法。
用于传感器的声表面波谐振器耦合模理论研究
【摘 要】
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本文主要研究声表面波耦合模理论在声表面波谐振器中的应用。本文结合声表面波谐振器的特点，对谐振器表面沉积介质薄膜后引起器件结构参数的变化进行了分析，为研究基于ＳＡＷ谐振器的
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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电子测量与仪器学报
【发表日期】
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1997年4期
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