多层结构的X射线双晶衍射研究

• 作 者: 武蕴忠 许学敏 王渭源 滕琴
• 机 构: 中国科学院上海治金研究所,中国科学院上海硅酸盐研究所
• 出 处: 应用科学学报
• 发表日期: 1995年3期
• 关键词: X射线双晶衍射 多层结构 薄膜 玻璃 铂膜 陶瓷 X-ray double crystal diffraction thermal mismatch The

用Ｘ射线双晶衍射术研究了玻璃薄层－铂膜－α－Ａｌ＿２Ｏ＿３多层结构。发现不同材料的玻璃层，使多层结构因热失配对铂膜产生不同的应力。对铂薄膜电阻器件的测量结果表明：应力引起器件的电阻值变化；不同的应力状态，产生不同方向的附加电阻。选择适当材料的玻璃层，使热失配在铂膜内产生相反的应力，从而造成相反的附加电阻。以这种应力补偿方法提高了薄膜铂电阻的可靠性。