论PCVD技术

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qq7758521

【摘要】

：

<正> 一、发展概况 1974年莫托洛拉公司引进LPCVD用于半导体工业,尔后又引进了LTO系统及等离子增强CVD技术,CVD技术得到了惊人的发展。据统计在1980年世界销售的化学气相淀积

【作者】

：

刘兆云

【机构】

：

新化无线电设备厂

【出处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

1990年2期

【关键词】

：

PCVD技术半导体沉积薄膜

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

<正> 一、发展概况 1974年莫托洛拉公司引进LPCVD用于半导体工业,尔后又引进了LTO系统及等离子增强CVD技术,CVD技术得到了惊人的发展。据统计在1980年世界销售的化学气相淀积(CVD)设备已达一亿美元,超过了当年扩散炉的销售额。关于PCVD(Piama Chemical VaporDeposition等离子化学气相淀积)技术的研究,1965年美国的H·F·Sterling进行了射频辉光放电下的CVD试验;1974年A·R·

其他文献

安庆召开全市统战工作会议

为贯彻落实好全国、全省统战工作会议精神，7月26日，安庆召开了全市统战工作会议。

期刊

安庆召开会议精神中国统战工作

甩开拐杖

拐杖为何物，相信诸君早已不言自明。论功用，它无非是或助年老体衰、身患残疾者行走，或为攀登峻险者助力。最为国人家喻户晓的是，“八仙”之中有个叫铁拐李的，他有一柄魔力无比的拐

期刊

拐杖残疾行走功用“八仙”自明西王母明代

复合钝化工艺在大功率晶体管上的应用

<正> 近十年来,国内几家生产大功率晶体管的大型企业在大规模引进的前提下才使电泳玻璃钝化工艺在大功率晶体管上投产。这对中、小型企业来说是可望而不可及的。为使本厂产品

期刊