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【摘 要】
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本文介绍了制备ＺｎＯ薄膜的常见方法和影响薄膜结构的主要因素，并已在Ｓｉ衬底上利用直流反应磁控溅央求地制备出Ｃ轴取向高度一致的ＺｎＯ薄膜。
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
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材料科学与工程
【发表日期】
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1997年2期
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