【摘 要】
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我校微电子所孙建诚科研组的“半导体器件最终钝化技术”最近在广州通过机电部技术鉴定.该项研究成果可用于各种半导体器件表面钝化,对提高半导体器件可靠性有重要作用。半
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我校微电子所孙建诚科研组的“半导体器件最终钝化技术”最近在广州通过机电部技术鉴定.该项研究成果可用于各种半导体器件表面钝化,对提高半导体器件可靠性有重要作用。半导体器件表面状态的恶化是影响器件可靠性的重要因素,采用表面钝化的
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