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讨论了采用掩膜方法制备的栅极型空心薄膜电感的分层串联,在100MHz～10GHz范围,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别由原来单层的130nH,155nH增加到185nH和280nH;电阻在6GHz以下保持平稳,分别由单层的31Ω,51Ω增加到64Ω和104Ω;品质因素(Q值)在1～6GHz之间达到20以上。